JZJLG150-3T型羅茨螺桿真空機(jī)組

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簡(jiǎn)介：
JZJLG150-3T型羅茨真空泵是由ZJ150羅茨泵、LG50螺桿泵串聯(lián)而成的真空吸油機(jī)組。單晶硅真空拉伸工藝的主要特點(diǎn)如下

特點(diǎn)：
?無油氣污染真空系統(tǒng)，可獲得清潔真空
?配置單晶硅專用過濾器，減少硅粉吸入真空泵
?被抽氣體不會(huì)被污染，尾氣可進(jìn)行回收利用
?無油氣和油煙等有害氣體的排放，環(huán)境污染小
?避免了因泵腔內(nèi)潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，同時(shí)減少了泵潤滑油的損耗
?泵可單獨(dú)使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機(jī)組，作為機(jī)組的前級(jí)泵使用。單泵進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡(jiǎn)化抽真空系統(tǒng)
?泵腔內(nèi)各相對(duì)運(yùn)動(dòng)零件之間采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，使用壽命長(zhǎng)
?泵腔內(nèi)采用間隙密封，對(duì)少量小顆粒粉塵不敏感
?整機(jī)體積小，減少占地面積
?消耗功率更低，節(jié)能效果好
?運(yùn)行噪聲低

性能參數(shù)：

機(jī) ?組 ?型 ?號(hào) Model		單位 Unit	JZJLG150-3T	JZJLG220-4T
抽?氣?速?率 Pumping Speed （50Hz/60Hz）		L/s	170/210	250/300
抽?氣?速?率 Pumping Speed （50Hz/60Hz）		m3/h	630/756	900/1080
極限真空 Ultimate Pressure		Pa	≤0.2/0.1	≤0.2/0.1
極限真空 Ultimate Pressure		Torr	≤1.5X10-3?≤7.5X10-4	≤1.5X10-3?≤7.5X10-4
水冷密封電機(jī) Water-cooled motor	頻率 Frequency	Hz	50/60	50/60
	電壓 Voltage	V	380	380
	功率 Rated Power	kW	3+4.5	3+4.5
轉(zhuǎn)速 Speed	羅茨真空泵 Roots vacuum pump?ZJ-150	rpm	2900/3480	2900/3480
轉(zhuǎn)速 Speed	螺桿真空泵 Screw?Vacuum Pump LG50	rpm	2900	2900
氮?dú)?/p> N2/CDA	壓力 Pressure	MPa	0.05-0.1	0.05-0.1
氮?dú)?/p> N2/CDA	流量 Purge Flow	l/min	6-20	6-20
冷卻水 Cooling Water	壓力 Pressure	MPa	0.2-0.4	0.2-0.4
	壓力差 Pressure difference	MPa	0.1	0.1
	溫度 Temp	℃	10-30	10-30
	流量 Purge Flow	l/min	3-5	3-5
進(jìn)氣口徑?Inlet		mm	DN100	DN160
排氣口徑?Outlet		mm	DN40	DN40
重量?Weight		Kq	600	700
噪音?Noise		dB（A）	72	72
外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）L×W×H		mm	10006601050	10006601050

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