油潤滑, 脂潤滑和磁懸浮分子泵的特點(diǎn)

渦旋分子泵結(jié)構(gòu)圖如下：

從軸承特性上區(qū)分，EVP分子泵大致可分為以下三類：
1.油潤滑分子泵
2.脂潤滑分子泵
3. 磁懸浮分子泵

油潤滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油潤滑。

現(xiàn)在大部分渦輪分子泵轉(zhuǎn)子都用油潤滑軸承。因?yàn)檫@種軸承在轉(zhuǎn)子的排氣側(cè)，所以油蒸汽不會到達(dá)渦輪分子泵的入口。

在工作壓強(qiáng)的高壓端，通過軸承的油流可用來散失掉氣體摩擦熱。在低壓下主要是油的摩擦本身造成轉(zhuǎn)子溫度增高。

脂潤滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油脂潤滑。

通常情況下有效粘度低，蒸汽壓極低的軸承用油脂，使渦輪分子泵避免了在抽氣時(shí)或放大氣時(shí)都要小心，尤其當(dāng)轉(zhuǎn)子在高速工作時(shí)以免高速流動的油進(jìn)到入口處。

油脂潤滑和脂潤滑分子泵也統(tǒng)稱為機(jī)械軸承分子泵。并且其油或者油脂的性能必須具備以下三個(gè)條件，才能滿足泵的工作要求：
a. 高速下具備良好的潤滑性能；
b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓．
c. 粘度適當(dāng)，使之兼有軸承冷卻液的作用。

機(jī)械軸承分子泵的特點(diǎn)如下：

(1)清潔，無油蒸汽返流。?機(jī)械軸承分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔铩?br /> (2)使用方便?。在許多應(yīng)用中，機(jī)械軸承分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。而且機(jī)械軸承分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝。
(3)氣體輸送能力強(qiáng)。?大多數(shù)機(jī)械軸承分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。
(4)適于超高真空應(yīng)用。?一臺密封和除氣良好的機(jī)械軸承分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達(dá)到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33nPa）之間。若一臺分子泵再串一臺分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10-10～1×10-11Torr（即13.33～1.333nPa）之間。
(5)高壓力下性能良好。有些分子泵的入口壓力可在10-1～10-3Torr（即13.33Pa～133.3mPa）之間運(yùn)行。
(6)循環(huán)的時(shí)間短。多數(shù)分子泵，尤其小一些的，要達(dá)到正常的運(yùn)行速度的時(shí)間，一般需要1～3min。
(7)正常使用時(shí)間長.??在某些應(yīng)用中，分子泵的正常使用時(shí)間要比其它泵優(yōu)越。

磁懸浮分子泵是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中使轉(zhuǎn)子和定子無接觸運(yùn)轉(zhuǎn)。
其特點(diǎn)如下：
（1）不用任何潤滑油，可實(shí)現(xiàn)完全無油化。
（2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸，軸承的壽命非常長。
（3）與傳統(tǒng)軸承相比，轉(zhuǎn)子可運(yùn)行到很高的轉(zhuǎn)速。
（4）　振動與噪聲很低。
（5）　泵的安裝姿態(tài)不受限制，可任意角度安裝。
（6）轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形
（7）自平衡技術(shù)振動極小
相比普通分子泵，它的軸承不需要潤滑，所以可以排除油污染。
磁懸浮分子泵軸承是最關(guān)鍵的部位，如下圖（3）：

EVP不僅提供單個(gè)分子泵還提供分子泵系統(tǒng)， 其組成示意圖如下圖（4）：

鏈接：分子泵，復(fù)合分子泵，脂潤滑分子泵
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