擴(kuò)散泵的分解、清洗及裝配

1、擴(kuò)散泵的分解

（1）、對(duì)泵芯自上而下進(jìn)行分解。

（2）、分解過(guò)程應(yīng)謹(jǐn)慎，不得使零部件有所損壞及變形。

（3）、分解后的零部件，應(yīng)置于安全妥當(dāng)?shù)奈恢谩?/p>

2、擴(kuò)散泵的清洗

（1）、將泵分解完畢后，首先將舊泵油倒出并擦凈，

（2）、將所有泵芯零部件及泵腔排氣管依次用航空汽油或四氯化碳進(jìn)行清洗。

（3）、用180#水砂紙把鋁塔芯表面的碳黑、黃袍、處理干凈露出金屬的本色后用毛刷蘸汽油除油，再用丙酮洗凈。

（4）、將清洗完畢后之零部件及泵腔用蘸過(guò)乙醚或丙酮的白絲綢進(jìn)行擦拭。

（5）、再用干凈的白絲綢通擦一遍，不得有油污存在。

（6）、將擦干凈的零部件置于100-150℃下烘干1?小時(shí)（可用電烘箱或紅外線(xiàn)燈）。

（7）、對(duì)所有密封膠圈用蘸過(guò)乙醇的絲綢擦凈吹干后備用。

（8）、注意：在清洗過(guò)程中一定不要將棉布纖維掛落在泵體內(nèi)。

3、擴(kuò)散泵的裝配

（1）、零件經(jīng)清洗烘干后，按順序進(jìn)行裝配，如不能立即裝配時(shí)，應(yīng)將零部件置于清潔干燥處保存。

（2）、裝配時(shí)應(yīng)戴絲綢手套，不得用光手觸摸零部件。

（3）、裝配應(yīng)注意，泵芯應(yīng)于泵底垂直與泵腔同心，不得有明顯的傾斜。

（4）、裝配完畢后，自進(jìn)氣口加入新泵油，即可接入真空系統(tǒng)使用。

（5）、與真空系統(tǒng)聯(lián)接時(shí)，所有密封膠圈應(yīng)涂一層薄而均勻的真空脂（高真空處一定要少涂或是不涂）。

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編輯：張璟（上海坎特真空科技有限公司）