干式螺桿泵與油潤滑螺桿泵的差別

如圖一所示，油潤滑式螺桿泵的轉(zhuǎn)子腔充滿了真空泵油，起潤滑，密封和冷卻的作用。此類型的螺桿泵的抽氣效率較高（某知名品牌的氣量能達到400 – 5004m3/hr），但極限真空相對較低僅達到0.33mbar。由于泵腔內(nèi)部有油潤滑，該類型無法提供完全潔凈的真空。所以，油潤滑式螺桿泵常被用來抽對真空環(huán)境無嚴格要求的粗真空，如電子工業(yè)，木工，塑料生產(chǎn)，印刷與造紙等行業(yè)。但不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學作用、及含有顆?；覊m的氣體。

(圖一 油潤滑螺桿泵原理）

干式螺桿泵

如圖二所示，EVP干式螺桿泵的轉(zhuǎn)子腔內(nèi)，完全無任何液體溶劑，因此此款泵的最大特點就是能獲得無任何污染的潔凈真空。該泵可用來抽除易燃易爆性氣體，含大量水蒸氣或粉塵的氣體，應用范圍十分廣泛。此外，相比油潤滑式螺桿泵，干式螺桿泵能獲得更高真空，極限真空可達到0.02/0.01mbar.

（圖二?EVP干式螺桿泵結(jié)構(gòu)圖）

其中，干式螺桿泵又分為等螺距和變螺距。變螺距是基于等螺距的一種技術(shù)更新，使螺桿泵運行時的性能達到最理想的狀態(tài).以下是EVP變距螺桿泵的優(yōu)缺點:

1) 泵體溫升低

氣體在壓縮和輸送過程中會產(chǎn)生高壓和高溫，變距螺桿泵的進氣腔比隨后的送氣腔和排氣腔空間都大（參考圖四），這種結(jié)構(gòu)降低了氣體在壓縮時產(chǎn)生的熱量，同時該結(jié)構(gòu)降低了高溫氣體反流濾，只能停留在排氣端。而排氣端接入冷卻液直接冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，所以整個泵在運行過程中都能保持較低溫度，從而保證舒適的工作環(huán)境。

2）噪音低

同上，由于變距螺桿的送氣腔和排氣腔空間小于進氣腔，到達送氣腔的氣體無法返流到進氣腔，因此轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)不會產(chǎn)生異常噪音。

3）功耗低

由于排氣腔小于前兩級腔體，螺桿泵排出氣體所需的動能小，同比等螺距變螺距能耗降低了30%。如，在EVP LG70的氣量為70L/s，等螺距螺桿泵需要7.5Kw，而變螺距螺桿泵僅需5.5Kw。

4) 不適合抽易固化和液化的氣體

變距螺桿泵的設計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。

而等螺距螺桿式設計中，氣體通路最短最簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。

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標簽：螺桿真空泵，螺桿泵系統(tǒng)

編輯人：胡羽（上?？蔡卣婵湛萍加邢薰荆?/td>