PVD鍍膜機配套的真空系統(tǒng)

針對于PVD鍍膜機選配真空系統(tǒng)的時候，我們大多時候選用KT系列油擴散泵來作為主泵， ZJP系列羅茨泵作為第二級的前級泵，H系列滑閥泵作為第一級泵。有時候針對客戶的不同需要，也要選配2X-A系列的旋片泵作為維持泵工作，比如2X-30A， 2X-15A等。例如，我們在國內(nèi)搭配的一臺1800mm*2000mmd的PVD鍍膜機，選配的就是2臺KT-800，2臺ZJP1200，4臺2X-70A。不同的鍍膜機選配的真空系統(tǒng)大體一樣，但是針對不同的案例，有不同的配置，比如主泵抽速怎么選擇，是否要配置維持泵，前級泵選擇滑閥泵還是旋片泵等等。

1.下圖是4臺2X-70A前級泵，2臺2X-15A做維持泵， 2臺ZJP-1200為二級泵， 2臺KT630為主泵，一起組成的真空系統(tǒng)。這個系統(tǒng)里面選配了2臺2X-15A做維持泵，當整個系統(tǒng)達到工作真空以后，可以啟動維持泵，關(guān)閉前級泵，以節(jié)能減排。國內(nèi)目前比較流行這種配置。

vacuum pump.jpg

2.下面這套真空系統(tǒng)是用2臺H-150滑閥泵做前級泵， 2臺ZJP1200做二級泵， 2臺KT-630油擴散泵作為主泵。這套系統(tǒng)和第一套系統(tǒng)最大的不同是用滑閥泵做前級泵，節(jié)省了安裝空間，而且沒有配置維持泵，節(jié)省成本。目前這種配置在國外比較流行，尤其是H-150臥式滑閥泵，在真空鍍膜方面使用的很多。

Vacuum system.jpg

當然，不同的客戶有不同的需求，真空系統(tǒng)的配置也不一樣，還是建議大家多找一些像EVP這樣專業(yè)的廠家咨詢。

鏈接：擴散泵

編輯：申孟南（上海坎特真空科技有限公司）

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