擴散泵機組操作程序

2、接通機組配置的各類真空泵和水冷擋板的冷卻水。

3、裝好高閥上蓋板測量點電離和熱偶規(guī)管、水冷擋板側口測量點的電離規(guī)管及前級管路上測量點的熱偶規(guī)管。接好真空計電源，開始測量時接好規(guī)管與真空計連接的測量線。

4、機組所有閥門在斷電的情況下處于關閉狀態(tài)。

5、擴散泵加熱前觀察油量是否到位，泵在運行中一定要觀察油量，避免泵燒干鍋。

6、帶維持泵的機組，先開維持泵，在開泵之前，打開維持泵系統(tǒng)的角閥，開動維持泵抽擴散泵，當擴散泵內真空度達到5Pa時擴散泵開始加熱，維持泵開始工作時，就可以打開預抽閥，開動前級泵，當預抽系統(tǒng)真空度達到500Pa時，啟動羅茨泵，當預抽系統(tǒng)真空度達到0.5Pa,擴散泵加熱時間達到，320以下泵40分鐘；500～630泵60分鐘；800、900泵70分鐘；1000～1600泵90分鐘時，打開前級閥，關閉預抽閥，關閉維持泵系統(tǒng)角閥、關維持泵，打開高閥機組開始工作。

7、不帶維持泵的機組，打開前級閥和預抽閥，開動前級泵，當真空度達到500Pa時啟動羅茨泵，當前級真空（擴散泵真空度）達到5Pa時，擴散泵開始加熱，擴散泵加熱時間達到（6）款規(guī)定的， 對擴散泵加熱時間要求時，預抽系統(tǒng)真空度達到5×10–1Pa (0.5Pa)時，關閉預抽閥，打開高閥機組開始工作。

8、不配羅茨泵和不帶維持泵的機組，打開前級閥和預抽閥，開動前級泵，當整體真空系統(tǒng)達到5Pa時，擴散泵開始加熱，擴散泵加熱時間，達到（6）款規(guī)定的，對擴散泵加熱時間要求時，預抽真空系統(tǒng)達到5×10–1Pa (0.5Pa)時，關閉預抽閥，打開高閥機組開始工作。

9、關閉機組程序：

①帶維持泵和羅茨泵的機組，首先關擴散泵加熱電源，關閉高閥，關羅茨泵，前級泵照常運行，啟動維持泵系統(tǒng)，當維持泵系統(tǒng)達到正常工作狀態(tài)，關閉前級閥，關前級泵，維持泵系統(tǒng)在運行，當擴散泵溫度降到50℃以下時，關維持泵系統(tǒng)，所有閥門都在關閉狀態(tài)。冷卻水可以繼續(xù)冷卻一段時間再停。

②不帶維持泵和羅茨泵的機組，首先關擴散泵加熱電源，關閉高閥，前級泵系統(tǒng)照常運行，當擴散泵溫度降到50℃時，關前級泵真空系統(tǒng)，所有閥門都在關閉狀態(tài)，冷卻水可以繼續(xù)冷卻一段時間再停。

特別提示：關擴散泵加熱電源后，擴散泵和正在運行的前級泵或維持泵冷卻水不能停。

編輯：傅燕俊/上海坎特真空科技有限公司

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