復(fù)合分子泵FB系列

產(chǎn)品描述: FB 系列復(fù)合分子泵屬于無油干泵，是獲得清潔高真空的理想設(shè)備。

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簡介：

FB 系列復(fù)合分子泵屬于無油干泵，是獲得清潔高真空的理想設(shè)備。

FB 系列復(fù)合分子泵有渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大，壓縮比高，牽引泵高壓強是抽速大，壓縮比高德特點，擴展了分子泵的應(yīng)用范圍。

復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性，無記憶效應(yīng)，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

FB復(fù)合分子泵采用進口精密軸承支撐，冷卻方式為水冷或風(fēng)冷，風(fēng)冷泵工作環(huán)境溫度必須低于28℃，轉(zhuǎn)子經(jīng)過整機動平衡，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠，電機為鼠籠式三相電機，軸承潤滑采用錐孔軸自吸油潤滑，簡易可靠，但也決定了分子泵只能垂直安裝。

應(yīng)用：

工業(yè)撿漏，PVD, CVD, 離子注入，真空電子元器件制造，Low-E玻璃，ITO玻璃，光學(xué)鍍膜，太陽能電池，電子束焊接，真空爐等領(lǐng)域。

型號		單位	FB-600		FB-1200		FB-1600		FB-3600
高真空法蘭		mm	150CF	160 ISO-K	200 CF	200 ISO-K	250 CF	250 ISO-K	400 ISO-K
前管法蘭		mm	40 KF		40 KF		50 KF		100 ISO-K
泵速		L/s	600		1200		1600		3600
壓縮率		N²	>10⁹		>10⁹		>10⁹		>10⁸
		H²	>8×10³		>1×10⁴		>1×10⁴		>5×10²
極限壓力		Torr	<8×10^-8	<5×10^-7	<8×10^-8	<5×10^-7	<8×10^-8	<5×10^-7	<2×10^-6
電機轉(zhuǎn)速		rpm	24000		24000		24000		13500
振動值		μm	≤0.1		≤0.1		≤0.15		≤0.15
啟動時間		min	<4.5		<5		<6		<11
前泵轉(zhuǎn)速		L/s	4-8		8-15		15		30-70
冷卻方法		/	Air / water		Air / water		Air / water		water
環(huán)境溫度(Air)		℃	≤20		≤20		≤20		/
水冷卻	溫度	℃	≤35		≤35		≤35		≤25
	消耗	L/m	1-2		1-2		1-2		2
烘烤溫度		℃	<120		<120		<120		<120
加熱器	功率	Kw	<250		<300		<350		/
	電壓	V	AC220		AC220		AC220		/
安裝位置		/	垂直±5°
重量		Kg	25		29		31		100

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